Hvað er ULPA sía? Hvernig það er frábrugðið HEPA og hvar hver og einn tilheyrir

HEPA sía samkvæmt EN 1822 vísar venjulega til H13 eða H14. ULPA sía vísar til U15, U16 eða U17. Stökkið úr H14 til U15 lítur lítið út á pappírnum, en í skarpskyggni er það stórt skref. H14 leyfir hámarks heildar skarpskyggni upp á 0,005%, en U15 minnkar það í 0,0005%. Það er 10× minnkun á leyfilegri skarpskyggni.

Það er það fyrsta sem kaupendur ættu að muna:

•H14=HEPA

•U15-U17=ULPA

•Prófgrunnurinn er MPPS, ekki bara einföld 0,3 μm markaðssetning

Meiri skilvirkni þýðir venjulega strangari mengunareftirlit, en einnig meira næmni kerfisins fyrir loftflæðishönnun og þrýstingsfalli

EN 1822 skilvirkni flokkar

Samkvæmt EN 1822 eru algengustu há-skilvirkniflokkarnir:

•H13: Meira en eða jafnt og 99,95% heildarnýtni

•H14: Meira en eða jafnt og 99,995% heildarnýtni

•U15: Meira en eða jafnt og 99,9995% heildarnýtni

•U16: Meira en eða jafnt og 99,99995% heildarnýtni

•U17: Meira en eða jafnt og 99,999995% heildarnýtni

Sama flokkatafla inniheldur einnig staðbundin skilvirkni / skarpskyggnimörk, sem skipta máli þegar lekaskönnun er hluti af samþykkiskröfunni.

Þetta er þar sem rugl byrjar.

Á markaðnum lýsa mörg ULPA gagnablöð enn frammistöðu sem 99,9995% við 0,12 μm. AAF vörubókmenntir gera þetta beint fyrir ULPA einingar og kassasíur. Það orðalag er enn algengt og mörgum verkfræðingum kunnugt. En formleg flokkunarrökfræði samkvæmt EN 1822 / ISO 29463 er byggð á MPPS prófun. Það þýðir að öruggasta leiðin til að bera saman vörur er:

•Athugaðu flokkinn fyrst: H14, U15, U16, U17

•Staðfestu prófunarstaðalinn: EN 1822 / ISO 29463

•Farðu síðan yfir hvernig birgir tilgreinir mælda skilvirkni í gagnablaðinu

Hvað U15 stökkið þýðir í raun

Verkfræðingar okkar sjá kaupendur oft skemmta sérU15sem "bara aðeins betri en H14." Það er betra en það. Leyfilegt heildarskyggni lækkar um einn aukastaf. Í hreinherbergisskilmálum skiptir það máli þegar ferlið er þegar að berjast á gallastigi, ekki bara á -þægindastigi herbergisins.

Heilsugæsla og skurðstofur: markmiðið er sýkingavarnir, ekki uppskera á oblátum

Í heilbrigðishönnun er aðaláhyggjuefnið að stjórna smithættu í lofti, skurðaðgerðar-mengun, þrýstingssambönd og hreint loftflæði yfir mikilvæga svæðið. Í heilbrigðisleiðbeiningum ASHRAE kemur fram aðHEPA síur eru aðeins nauðsynlegar í staðal 170 fyrir verndandi-umhverfisherbergi, ekki á öllum heilsugæslusvæðum. Fyrir skurðstofur er áherslan lögð á dreifingarkerfið, loftflæðismynstur og þrýsting í herberginu. Þess vegna snúast umræður um heilbrigðisþjónustu yfirleitt umHEPA, ekki ULPA.

Það eru heilsuvörur sem bjóða upp á valfrjálsa ULPA frammistöðu. Í aðgerðabókum Camfils -loftræstingarstofu er minnst á valfrjálsar ULPA-síur fyrir sum kerfi. En það breytir ekki víðtækari reglunni:staðlað heilbrigðisviðmið er HEPA-gráðu síun, á meðan ULPA er sértilvik, ekki sjálfgefið svar.

Hálfleiðara hreinherbergi eru mismunandi. Leiðbeiningar um hálfleiðara Camfil lýsir verkefnum sem miða að ISO flokki 1 agnastigum ásamt ströngu eftirliti með sameindamengun í lofti (AMC). Það undirstrikar einnig notkun HEPA og ULPA sía í forritum eins og steinþrykk, ætingu, dreifingu, málmvinnslu, jónaígræðslu, skoðunarverkfæri og geymslu staflar eða obláta. MANN+HUMMEL lýsir einnig FFU kerfum fyrir hreinherbergi sem nota H14 til U17 frumefni.

Þess vegna flytja hálfleiðarakaupendur oft frá HEPA til ULPA:

• mikilvægar kornastærðir eru minni

•uppskerutap er beint bundið við mengun á nanóskala

•verkfæri og smá-umhverfi þurfa oft þéttari stjórn en nærliggjandi tískuvörur

•sameindamengun í lofti skiptir máli samhliða ögnum

Einföld regla:
•Ef herbergið verndar vinnuflæði sjúklings og starfsfólks er HEPA venjulega viðmiðunarpunkturinn.
•Ef herbergið er að vernda oblátu, grímu, þráð eða háþróað vinnsluverkfæri, verður ULPA mun algengara

Nei. Ekki sjálfkrafa.

Betri sía á pappír er ekki alltaf betri verkfræðivalið á þessu sviði.

Kaupendur ættu einnig að bera saman:

•Upphafsviðnám

• leyfilegt lokaþrýstingsfall

•viftugeta og orkukostnaður

•loftflæði einsleitni

•kröfur um innsiglun og skönnun-

•gagnsæishegðun

•áhætta við notkun ef sían stíflast hraðar eða þvingar fram endurhönnun á loftkerfinu

Verkfræðingar okkar sjá oft ULPA tilgreint þar sem H14 hefði uppfyllt raunverulega ferlikröfu með lægri kerfisviðnám og lægri rekstrarkostnaði. Hin gagnstæða mistök gerast líka: HEPA er afritað í hálfleiðara eða öreindabeiðni RFQ einfaldlega vegna þess að það er þekktara hugtakið. Hvorug flýtileiðin er góð innkaupavenja.

Þetta atriði gleymist alltaf.

Í hálfleiðara og öreindaumhverfi er vandamálið ekki bara agnir. Það er líka sameindalosun frá síunni sjálfri. Camfil segir að forsíuúrval hálfleiðara sé hannað til að vernda HEPA síur án þess að losa bór, og HEPA/ULPA vörurnar til notkunar í hálfleiðara séu hannaðar fyrir mjög litla útgasun. AAF bendir á það sama frá örrafeindahliðinni og segir að bór-frítt og efnafræðilega óvirkt síumiðill takmarki-gasun sem getur skaðað öreindatækni. Hollingsworth & Vose lýsir einnig lágmarks-bór örglersmiðlum sínum sem hönnuðum fyrir hálfleiðara hreinherbergi.

Í hálfleiðaraframleiðslu er snefilmengun ekki fræðileg. Sameindamengun í lofti og efnaleifar geta haft áhrif á yfirborð skúffu, ljósfræði og verkfæri. Camfil tekur beinlínis fram að óæskileg viðbrögð sem fela í sér sýrur, basa, lífræn efni, eldföst efni oglyfjaefnigetur skapað galla og dregið úr skilvirkni búnaðar. Bór er eiturefni í hálfleiðaravinnslu, þannig að stjórnlaus bórlosun frá efnum í loftleiðinni er einmitt það sem fabs reyna að forðast.

Þess vegna biðja kaupendur í rafeindatækni oft um:

•lágt-bórfjölmiðla

•lágt-gagnleysilím og íhlutir

•ULPA eða hágæða HEPA/ULPA einingar sem eru smíðaðar sérstaklega fyrir öreindatækni

•hreinsherbergissíur sem passa við steinþrykk, ets, þunn filmu, eða skoðunartæki

Þetta er mikilvægt. Lítið-bórsíuefni er ekki nauðsynlegt í hverju hreinu herbergi.

Það verður mikilvægt þegar:

ferlið er hálfleiðara eða örrafeindatækni

kaupandi sér um AMC og efnisútgasun

verksmiðjan eða verkfærasmiðurinn hefur strangar upplýsingar um efnahreinleika

kostnaður við snefilmengun er mjög hár

Fyrir mörg lyfja-, sjúkrahús- eða venjuleg hreinherbergi í iðnaði gæti þessi krafa aldrei birst í beiðni um tilboð.

1. Að bera saman HEPA við 0,3 μm við ULPA við 0,12 μm án þess að athuga staðalinn

Þetta er epli-til-appelsínur samanburður nema þú staðfestir tilgreindan prófunargrundvöll og flokk. EN 1822 / ISO 29463 flokkunin byggir á MPPS.

2. Tilgreina ULPA vegna þess að það "hljómar öruggara"

Meiri skilvirkni er ekki ókeypis uppfærsla ef kerfið getur ekki tekið upp þrýstingsfallið eða ef ferlið þarfnast þess ekki.

3. Hunsa útgasun og efnahreinleika í rafeindatækni

Í hálfleiðurum skipta efni síunnar sjálfri máli. Lágt-bór og lítið-útgassmíði getur verið jafn mikilvægt og skilvirkniflokkurinn.

4. Að skrifa "ULPA filter" í RFQ án flokks

Alvarleg beiðni um beiðni ætti að segjaU15, U16 eða U17, auk prófunarstaðalsins og stærðarinnar.